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離子風機微電子工業的應用

離子風機微電子工業的應用
  離子風機是依靠輸入的機械能，提高氣體壓力并排送氣體的機械，它是一種從動的流體機械。風機分類可以按氣體流動的方向，分為離心式、軸流式、斜流式和橫流式等類型。風機根據氣流進入葉輪后的流動方向分為：軸流式風機、離心式風機和斜流（混流）式風機。風機按用途分為壓入式局部風機（以下簡稱壓入式風機）和隔爆電動機置于流道外或在流道內，隔爆電動機置于防爆密封腔的抽出式局部風機你所說的都是離心風機。
  離子風機可產生大量的帶有正負電荷的氣流，中和掉物體上所帶的電荷。當物體表面所帶電荷為負電荷時，它會吸收氣流中的正電荷，當物體表面所帶電荷為正電荷時，它會吸收氣流中的負電荷，從而使物體表面上的靜電被中和，達到消除靜電的目的。
  離子風機在微電子工業生產中有著廣泛的應用，用于大規模、超大規模集成電路潔凈車間，避免人體在車間內移動產生靜電。計算機、通信及電子設備制造業：用于電子設備生產車間地面、程控電話交換機房、移動通信機房、廣播電視發射中心、電力控制調度中心、交通運輸調度中心、電腦機房、微波通訊站機房等，控制靜電放電對計算機通信、各類電子設備及對靜電敏感器件危害，防止計算機內存及電子儀器內部的損壞。

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